
工業(yè)硅及氟硅生產(chǎn)過程中排出大量的NOx、HF、HCl、燒堿霧及其他惰性氣體,氣體成分復(fù)雜、強(qiáng)腐蝕性,有毒氣體,對大氣的污染嚴(yán)重。目前市場上通常采用工藝裝置及方法,都比較單一,無法達(dá)到各種尾氣的處理的排放要求。該技術(shù)特點(diǎn)采用三級處理的吸收和吸附的裝置和工藝,針對多晶及單晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)排出尾氣采用針對的藥劑吸收、堿液洗滌、填料吸附等綜合性工藝裝置及工藝,才能達(dá)到尾氣處理的排放標(biāo)準(zhǔn)。